真空箱式氦檢漏儀的檢漏方式
2023.03.31
真空箱式氦檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。
逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
當(dāng)發(fā)現(xiàn)真空箱式氦檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。
這個(gè)時(shí)候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行清洗。具體的清洗方法如下：
先用較細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電及部件；然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
